Surface and line-edge roughness in solution and plasma developed negative tone resists

dc.contributor.author	Πάτσης, Γεώργιος Π.	el
dc.contributor.author	Τσερέπη, Αγγελική Δ.	el
dc.contributor.author	Ράπτης, Ιωάννης Α.	el
dc.contributor.author	Γλέζος, Νίκος Μ.	el
dc.contributor.author	Γογγολίδης, Ευάγγελος	el
dc.date.accessioned	2015-06-23T10:38:08Z
dc.date.issued	2015-06-23
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11400/17764
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/	*
dc.source	http://www.aip.org/	el
dc.title	Surface and line-edge roughness in solution and plasma developed negative tone resists	el
heal.type	journalArticle
heal.secondaryTitle	experiment and simulation	el
heal.classification	Technology
heal.classification	Electrical engineering
heal.classification	Τεχνολογία
heal.classification	Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.classificationURI	http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85133147
heal.classificationURI	http://zbw.eu/stw/descriptor/18426-4
heal.classificationURI	N/A-Τεχνολογία
heal.classificationURI	N/A-Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.dateAvailable	10000-01-01
heal.access	forever
heal.journalName	Journal of Vacuum Science and Technology B	el
heal.journalType	peer-reviewed
heal.fullTextAvailability	false