Micro-raman study of mechanical stress in polycrystalline silicon bridges

dc.contributor.author	Talaat, Hassan A.	el
dc.contributor.author	Negm, Sohair S.	el
dc.contributor.author	Schaffer, Howard E.	el
dc.contributor.author	Καλτσάς, Γρηγόριος	el
dc.contributor.author	Νασιοπούλου, Ανδρούλα Γ.	el
dc.date.accessioned	2015-06-24T22:35:13Z
dc.date.issued	2015-06-25
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11400/18363
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/	*
dc.source	http://www.mrs.org/	el
dc.title	Micro-raman study of mechanical stress in polycrystalline silicon bridges	el
heal.type	conferenceItem
heal.classification	Technology
heal.classification	Electrical engineering
heal.classification	Τεχνολογία
heal.classification	Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.classificationURI	N/A-Technology
heal.classificationURI	N/A-Electrical engineering
heal.classificationURI	N/A-Τεχνολογία
heal.classificationURI	N/A-Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.dateAvailable	10000-01-01
heal.access	forever
heal.fullTextAvailability	false
heal.conferenceName	1997 MRS Fall Meeting	el
heal.conferenceItemType	poster