Εμφάνιση απλής εγγραφής

dc.contributor.author Πάτσης, Γεώργιος Π. el
dc.contributor.author Τσερέπη, Αγγελική Δ. el
dc.contributor.author Ράπτης, Ιωάννης Α. el
dc.contributor.author Γλέζος, Νίκος Μ. el
dc.contributor.author Γογγολίδης, Ευάγγελος el
dc.date.accessioned 2015-05-19T08:58:19Z
dc.date.available 2015-05-19T08:58:19Z
dc.date.issued 2015-05-19
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11400/10727
dc.rights Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.source http://www.aip.org/ en
dc.subject Antireflection coatings
dc.subject Computer simulation
dc.subject Microelectronics
dc.subject Microstructure
dc.subject Plasmas
dc.subject Surface roughness
dc.subject Επιφανειακή τραχύτητα
dc.subject Πλάσμα
dc.subject Μικροδομή
dc.subject Μικροηλεκτρονική
dc.subject Υπολογιστική προσομοίωση
dc.subject Αντιανακλαστικές επιστρώσεις
dc.title Surface and line-edge roughness in solution and plasma developed negative tone resists en
heal.type journalArticle
heal.secondaryTitle experiment and simulation en
heal.generalDescription 44th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication. Rancho Mirage, CA, USA. 30 May - 2 June, 2000. Code 57844 en
heal.classification Technology
heal.classification Electrical engineering
heal.classification Τεχνολογία
heal.classification Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.classificationURI http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85133147
heal.classificationURI http://zbw.eu/stw/descriptor/18426-4
heal.classificationURI **N/A**-Τεχνολογία
heal.classificationURI **N/A**-Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
heal.keywordURI http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85029533
heal.keywordURI http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85084822
heal.keywordURI http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh2004006344
heal.keywordURI http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85130724
heal.contributorName Βαλαμόντες, Ευάγγελος Σ. el
heal.identifier.secondary DOI: 10.1116/1.1321281
heal.language en
heal.access campus
heal.publicationDate 2000-11
heal.bibliographicCitation PATSIS, G.P., TSEREPI, A.D., RAPTIS, I.A., GLEZOS, N.M., GOGOLIDES,E., et al. (2000). Surface and line-edge roughness in solution and plasma developed negative tone resists: experiment and simulation. Journal of Vacuum Science and Technology B. [online] 18 (6). p. 3292-3296. Available from: http://www.aip.org/ en
heal.abstract A framework for the study of surface roughness and line-edge roughness was presented. Experimental results from siloxane resists showed that such systems had the potential of very low surface roughness. A description of surface roughness and line-edge roughness simulation was also given. It was possible to simulate the change of roughness with dose, development time, acid diffusion length, PAG concentration, and polymer structure. en
heal.publisher American Institute of Physics en
heal.journalName Journal of Vacuum Science and Technology B en
heal.journalType peer-reviewed
heal.fullTextAvailability true


Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Οι παρακάτω άδειες σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο:

Εμφάνιση απλής εγγραφής

Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες Εκτός από όπου ορίζεται κάτι διαφορετικό, αυτή η άδεια περιγράφεται ως Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες