Modelling of thermopile-based MEMS sensors using analytical and numerical techniques

Randjelović, Danijela V.; Τσάμης, Χρήστος; Καλτσάς, Γρηγόριος; Πετρόπουλος, Αναστάσιος; Lazić, Žarko
URI: http://hdl.handle.net/11400/11260
Ημερομηνία Δημοσίευσης: 2010
Τύπος Τεκμηρίου: Δημοσίευση σε συνέδριο
Όνομα Συνεδρίου: 27th International Conference on Microelectronics, MIEL 2010
In this paper the thermoelectrical behavior of thermopile-based MEMS sensors is reported using analytical and numerical techniques. It is also shown that experimental results for specific sensors are in excellent agreement with simulation data obtained both with the self developed 1D analytical model as well as the commercial simulation software package CoventorWare. With the aid of the simulation tools optimization of sensor design and fabrication procedure can be achieved.
Πηγή: http://ieeexplore.ieee.org/
Θέμα: Technology, Electrical engineering, Τεχνολογία, Ηλεκτρολογία Μηχανολογία

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Οι παρακάτω άδειες σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο:

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)

Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες Εκτός από όπου ορίζεται κάτι διαφορετικό, αυτή η άδεια περιγράφεται ως Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες